DIN 50451-5-2010 半导体工艺用材料测试.液体中痕量元素测定.第5部分:在每千克微克和每千克豪微克范围之内的痕量元素测定用样品和样品制备装置的材料选择及其适用性试验指南

作者:标准资料网 时间:2024-05-16 20:12:46  浏览:9499   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationoftraceelementsinliquids-Part5:Guidelinefortheselectionofmaterialsandtestingoftheirsuitabilityforapparatusforsamplingandsamplepreparationforthedeterminationoftr
【原文标准名称】:半导体工艺用材料测试.液体中痕量元素测定.第5部分:在每千克微克和每千克豪微克范围之内的痕量元素测定用样品和样品制备装置的材料选择及其适用性试验指南
【标准号】:DIN50451-5-2010
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2010-03
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:化学分析和试验;化学元素;化合物;定义;测定;含量测定;高纯度;杂质;液体;材料选择;材料试验;材料;材料测试;性能试验;抽样方法;选择;半导体工程;半导体工艺;半导体;试样制备;适宜性;试验;痕量元素;水;水污染;防止水污染
【英文主题词】:Chemicalanalysisandtesting;Chemicalelements;Chemicals;Definitions;Determination;Determinationofcontent;High-purity;Impurities;Liquids;Materialselection;Materialtests;Materials;Materialstesting;Performancetests;Samplingmethods;Selection;Semiconductorengineering;Semiconductortechnology;Semiconductors;Specimenpreparation;Suitability;Testing;Traceelements;Water;Waterpollution;Waterpollutionprevention
【摘要】:Thisdocumentgivesaguidelinefortheselectionofmaterialsandtestingoftheirsuitabilityforapparatusforsamplingandsamplepreparationusedforthedeterminationoftraceelementsinhigh-puritychemicalproductsforsemiconductortechnology.Itisapplicablefordeterminationsoftraceelementsinrangesofmicrogramsperkilogramandnanogramsperkilogram.
【中国标准分类号】:H80
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:11P.;A4
【正文语种】:德语